Особенность-ориентированное позиционирование

Особенность-ориентированное позиционирование (ООП, англ. FOP — feature-oriented positioning)^[1][2] — способ прецизионного перемещения зонда сканирующего микроскопа по исследуемой поверхности, при котором особенности (объекты) поверхности используются в качестве опорных точек для привязки зонда микроскопа. ООП представляет собой упрощённую разновидность особенность-ориентированного сканирования (ООС), когда вместо получения топографического изображения некоторой поверхности выполняется только перемещение зонда по особенностям этой поверхности. Перемещение осуществляется из начальной точки A поверхности (окрестности начальной особенности) в конечную точку B (окрестность конечной особенности) вдоль некоторого маршрута, проходящего через промежуточные особенности поверхности. Кроме указанного допустимо использование другого названия метода — объектно-ориентированное позиционирование.

Различают ООП "вслепую", когда координаты особенностей, по которым производится перемещение зонда, заранее неизвестны и ООП по готовой "карте" особенностей, когда относительные координаты всех особенностей известны, например, были получены в ходе предварительного ООС. Разновидностью указанных способов является перемещение зонда по навигационной структуре.

Метод ООП может использоваться в нанопроизводстве "снизу вверх" для прецизионного перемещения зонда нанолитографа/наноассемблера по поверхности подложки. Причём, ООП, однажды выполненное по некоторому маршруту, затем может быть точно воспроизведено необходимое число раз. После перемещения в заданную позицию выполняется воздействие на поверхность или манипуляция объектом поверхности (наночастицей, молекулой, атомом). Все операции осуществляются в автоматическом режиме. В многозондовых инструментах ООП подход позволяет последовательно применить к особенности/объекту поверхности или к заданной точке окрестности особенности/объекта любое число специализированных технологических и/или аналитических зондов, что открывает перспективу построения сложного нанопроизводства, состоящего из большого числа технологических, измерительных и контрольных операций.

См. также

• Особенность-ориентированное сканирование

Литература

1. ↑ R. V. Lapshin (2004). «Feature-oriented scanning methodology for probe microscopy and nanotechnology» (PDF). Nanotechnology (IOP) 15 (9): 1135-1151. DOI:10.1088/0957-4484/15/9/006. ISSN 0957-4484.
2. ↑ R. V. Lapshin Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology / H. S. Nalwa. — USA: American Scientific Publishers, 2011. — Vol. 14. — P. 105-115. — ISBN 1-58883-163-9

Ссылки

• Feature-oriented positioning, Research section, Lapshin's Personal Page on SPM & Nanotechnology
• Особенность-ориентированное позиционирование, Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов, Роснано