ФТИАН

Физико-технологический институт (ФТИАН) — институт Отделения информационных технологий и вычислительных систем Российской академии наук.

Директор — академик Александр Александрович Орликовский

Проекты и исследования

• Ионно-лучевые технологии
• Плазмохимическое травление — технология создания элементов МЭМС и НЭМС

История ФТИАН

Cоздан в 1988 году на базе на базе Отдела микроэлектроники Института общей физики АН СССР.

Первый директор института — академик Камиль Ахметович Валиев.

Ссылки

• Физико-технологический институт (ФТИАН)